行星齒輪驅動裝置的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關系。所以針對行星齒輪減速電機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星齒輪減速電機的特點考慮選定。

1、表面淬火

常見的表面淬火方法有頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果好。

2、滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以精度。

滲碳淬火在輪齒彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提外，還在于有表面的殘余壓應力，它可使輪齒拉應力區的應力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量滾刀。

3、滲氮

采用滲氮可輪齒在變形的條件下達到很的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行后的精加工，提了承載能力。這對于不易磨齒的內齒輪來說，具有特殊意義。

4、相嚙合齒輪的硬度組合

當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較時，則取兩輪硬度相同。選擇好的行星齒輪減速電機材料，有利于提齒輪減速電機的承載力及使用壽命